荷蘭阿斯麥(ASML)支持台積電在臺設EUV培訓中心
【看中國2020年8月21日訊】荷蘭半導體製造設備商阿斯麥(ASML)8月20日於臺灣啟用其海外最大的EUV(極紫外光)全球技術培訓中心,該中心的總投資金額為1350萬歐元,可以就近為其最大客戶台積電提供技術上支持。該中心座落於臺南科學園區,台積電最先進的5奈米廠區就在10分鐘車程內。
阿斯麥是世界上唯一有能力製造EUV機臺的半導體設備商,晶圓製造廠如台積電、三星,要想生產出最先進的晶元,就得靠著這家荷蘭廠商的設備。過去,台積電、三星的EUV工程師得至荷蘭總部接受數月的培訓,但該培訓中心開幕後,每年能為其客戶培養360位EUV技術工程師。
阿斯麥全球副總裁暨臺灣區總經理陳文光在開幕典禮致詞時說,該中心不僅讓在臺灣的營運和服務項目更多元化,也實現其全力支援客戶先進位程開發與量產的承諾。他強調:「我們一直希望可以更靠近客戶,再加上台積電現在有(全世界)最大的裝機規模,我們認為在這裡訓練工程師有很大的需求。」
陳文光在接受美國之音提問時說:「我們在臺灣就一直是會擴大R&D(研發)的。」他更透露,阿斯麥在未來三年計畫在臺南擴大研發中心的投資,將目前280位的研發人員增加至500人。
EUV機臺是晶圓製造廠能否維持領先的關鍵之一,每臺造價超過一億美元的EUV機臺,不僅台積電與三星(Samsung)兩大晶圓廠要爭相搶購,連中國最先進的中芯半導體也盼望取得。2020年,阿斯麥只計畫出貨35臺EUV機臺,根據日經亞洲評論報導,其中超過20臺會出貨給台積電。
台積電營運副總經理王英郎在致詞時表示,他們一直希望阿斯麥能在臺南設立培訓中心。他說:「(這是)半導體史上最複雜、最精密的機臺,因為有這個機臺,讓我們的晶元進步很多。」
臺灣的經濟部部長王美花接受媒體聯訪時說,歸功於臺灣的防疫表現,今年1月至7月外資來臺投資已累計44億美元,相較去年同期增加10%,外資投資情形持續增加。她強調:「特別像阿斯麥這種設備廠商、或者跟半導體相關的材料廠商,這個都是我們現在要去積極引進外商來臺灣(的)投資,讓臺灣的半導體的生態系越來越完整。」
蔡英文政府當前的產業政策目標是將臺灣打造成「亞洲高階製造中心」與「半導體先進位程中心」。臺灣經濟部在今年7月提出計畫,希望透過外商設備在地化,扶植臺灣半導體設備與材料產業。
路透社今年1月報導,美國國務卿蓬佩奧(Mike Pompeo)去年曾遊說荷蘭政府,希望荷蘭不要販售半導體設備給中國,不久之後,荷蘭政府停止更新阿斯麥的出口許可。阿斯麥未曾公開客戶訊息,但業界公認, 下單EUV機臺的 中國客戶為中芯半導體。
阿斯麥8月20日提供給美國之音的最新聲明中表示,荷蘭政府仍在審核EUV機臺出口中國的許可,目前該公司還無法出貨EUV機臺至中國。
責任編輯:辛荷
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